PicoMotorと四分割PDを用いた近接場顕微鏡ヘッドの位置制御





近接場顕微鏡のヘッド(光プローブ先端)は、試料までの距離を近接場領域まで近接する必要があります。
上の図のピエゾスキャナは、電圧を加える事により最大約6[μm]だけ移動(変位)することが出来ます。

本研究は、光プローブの先端を、
ピコモーターと四分割フォトダイオードを用いて位置制御し、
ピエゾスキャナの最大移動範囲である6[μm]以内までに近づける事を行っています。